DIN 50450-7-1995 半导体工艺材料的检验.载气和掺杂气体中杂质的测定.第7部分:用气相色谱法和还原气体探测器测定氮气中CO和H含量
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时间:2024-05-25 08:26:29
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases-Part7:DeterminationofCOandHinnitrogenbygaschromatographyandreductiongasdetector
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载气和掺杂气体中杂质的测定.第7部分:用气相色谱法和还原气体探测器测定氮气中CO和H含量
【标准号】:DIN50450-7-1995
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1995-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体;测量;含量;水;载气;掺杂气体;气体;杂质;掺杂剂;体积;试样制备;材料;容积测量;水含量测定;药液;半导体工程;材料试验;水污染;试验;试验设备;氮;化学分析和试验;含量测定;半导体工艺;半导体材料;分析
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载气和掺杂气体中杂质的测定.第7部分:用气相色谱法和还原气体探测器测定氮气中CO和H含量
【标准号】:DIN50450-7-1995
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1995-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体;测量;含量;水;载气;掺杂气体;气体;杂质;掺杂剂;体积;试样制备;材料;容积测量;水含量测定;药液;半导体工程;材料试验;水污染;试验;试验设备;氮;化学分析和试验;含量测定;半导体工艺;半导体材料;分析
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
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